IC封装中引线框架上点胶装片、芯片键合及塑封等工艺前清洗。
在线式真空等离子清洗机自动搬运物料的设计要求,与常规等离子清洗系统相比,降低了人工搬运过成,提高了设备自动化水平。
1、进料流水线运动模组采用伺服电机+滚珠丝杆模组运动，有效保证精度，降低尘污；
2、真空腔内置2条轨道，可一次处理2片物料，UPH可达90拼板/小时；
3、所有运动机构均采用成熟运动方案，设备稳定性及故障率得以有效控制。
编号 | 项目 | 技术参数 |
1 | 整机规格 | L1300mm*W1300mm*H2200﹢50/﹣30mm（包含FFU及报警指示灯等） |
2 | 进出料方式 | 流水线全自动进出料 |
3 | 放电结构 | 真空容式辉光放电 |
4 | 处理温度 | ≤50℃ |
5 | 单次处理载板数 | 2片 |
6 | 载板MAX尺寸 | （170-270）*（65-85）*（1-5）mm |
7 | 设备产能 | 理论值≥90载板/小时（依据plasma处理时间15秒计算） |
8 | 净化防护 | 百级FFU净化过滤系统 |
备案号： 浙ICP备2026080611号-1
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